The Effects of Deuterium Annealing Pressure on P-type Si TFET with ALD HfAlOx and HfO2 Gate Dielectrics

제목
The Effects of Deuterium Annealing Pressure on P-type Si TFET with ALD HfAlOx and HfO2 Gate Dielectrics
저자
최창환
발행일
2017-02-15
학회명
한국반도체학술대회
개최지
대명 비발디파크, 대한민국