Atomic Layer Deposition of Tin Monosulfide using Bis[bis(trimethylsilyl)amino]tin(II) and Hydrogen Sulfide

제목
Atomic Layer Deposition of Tin Monosulfide using Bis[bis(trimethylsilyl)amino]tin(II) and Hydrogen Sulfide
저자
성명모
발행일
2013-04-17
학회명
대한화학회 제111회 총회 및 학술발표회
개최지
KINTEX