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Low Temperature Encapsulation-Layer Fabrication of Organic-Inorganic Hybrid Thin Film by Atomic Layer Deposition-Molecular Layer Deposition
- 제목
- Low Temperature Encapsulation-Layer Fabrication of Organic-Inorganic Hybrid Thin Film by Atomic Layer Deposition-Molecular Layer Deposition
- 저자
- 성명모
- 발행일
- 2013-02-19
- 학회명
- 제44회 한국진공학회
- 개최지
- 보광휘닉스파크