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Ar/He Plasma 에서 가스 조성비에 따른 봄 속도 및 이온 밀도 변화에 대한 연구

제목
Ar/He Plasma 에서 가스 조성비에 따른 봄 속도 및 이온 밀도 변화에 대한 연구
저자
정진욱
발행일
2023-02-10
학회명
제64회 한국진공학회
개최지
웰리힐리파크(강원도 횡성)

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