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Reduced Size Effect of Resistivity in Cobalt-Palladium (CoPd) Alloys for Advanced Interconnection Applications
- 제목
- Reduced Size Effect of Resistivity in Cobalt-Palladium (CoPd) Alloys for Advanced Interconnection Applications
- 저자
- 최창환
- 발행일
- 2024-01-25
- 학회명
- 31회 한국반도체학술대회 (KCS)
- 개최지
- 경주화백컨벤션센터