비대칭 전극 구조를 갖는 용량성 결합 플라즈마에서의 방전 특성과 전력 소비 모드 전이에 관한 연구

제목
비대칭 전극 구조를 갖는 용량성 결합 플라즈마에서의 방전 특성과 전력 소비 모드 전이에 관한 연구
저자
정진욱
발행일
2011-02-09
학회명
제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
한국, 강원도 평창