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산소 유도 결합 플라즈마에서 음이온 특성 연구

제목
산소 유도 결합 플라즈마에서 음이온 특성 연구
저자
정진욱
발행일
2003-10-24
학회명
2003년도 한국물리학회 논무발표회
개최지
경북대학교

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