Novel organic -inorganic thin films with monolayer precision using molecular layer deposition (MLD) and atomic layer deposition (ALD)

제목
Novel organic -inorganic thin films with monolayer precision using molecular layer deposition (MLD) and atomic layer deposition (ALD)
저자
성명모
발행일
2015-02-09
학회명
제 48회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
웰리힐리파크