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Novel organic -inorganic thin films with monolayer precision using molecular layer deposition (MLD) and atomic layer deposition (ALD)
- 제목
- Novel organic -inorganic thin films with monolayer precision using molecular layer deposition (MLD) and atomic layer deposition (ALD)
- 저자
- 성명모
- 발행일
- 2015-02-09
- 학회명
- 제 48회 한국진공학회 동계정기학술대회
- 개최지
- 웰리힐리파크