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Ar/SiH4 유도 결합 플라즈마에서의 전자에너지확률분포 특성 연구

제목
Ar/SiH4 유도 결합 플라즈마에서의 전자에너지확률분포 특성 연구
저자
정진욱
발행일
2023-02-10
학회명
제64회 한국진공학회
개최지
웰리힐리파크(강원도 횡성)

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