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극단파 광 조사 및 인 전자 방법을 이용한 IGZO 산화물 반도체 어닐링 및 Ag 전극의 소결 방법을 이용한 박막 트렌지스터
- 제목
- 극단파 광 조사 및 인 전자 방법을 이용한 IGZO 산화물 반도체 어닐링 및 Ag 전극의 소결 방법을 이용한 박막 트렌지스터
- 저자
- 김학성
- 발행일
- 2023-04-05
- 학회명
- 2023년 (사)한국마이크로전자 및 패키징학회(KMEPS) 정기학술대회
- 개최지
- 수원컨벤션센터 4F (광교중앙역, 경기도 수원시 영통구 광교중앙로 140)