Encapsulation Layer Fabrication of Organic-Inorganic Hybrid Thin Film by Atomic Layer Deposition and Molecular Layer Deposition

제목
Encapsulation Layer Fabrication of Organic-Inorganic Hybrid Thin Film by Atomic Layer Deposition and Molecular Layer Deposition
저자
성명모
발행일
2014-10-15
학회명
대한화학회 제 114회 총회 및 학술발표회
개최지
광주김대중컨벤션센터