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Highly efficient plasma generation in inductively coupled plasmas by the parallel resonance
- 제목
- Highly efficient plasma generation in inductively coupled plasmas by the parallel resonance
- 저자
- 정진욱
- 발행일
- 2022-08-19
- 학회명
- 제63회 한국진공학회 하계정기학술대회
- 개최지
- 신화월드(제주)