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Ar/He plasma 에서의 Hysteresis 현상 변화와 E-mode에서의 전자 밀도 변화 연구

제목
Ar/He plasma 에서의 Hysteresis 현상 변화와 E-mode에서의 전자 밀도 변화 연구
저자
정진욱
발행일
2021-08-18
학회명
한국진공학회 제61회 하계정기학술대회
개최지
제주도 소노캄

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