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유도 결합 플라즈마와 그리드를 통해 추출된 전자 빔의 균일도 상관 관계

제목
유도 결합 플라즈마와 그리드를 통해 추출된 전자 빔의 균일도 상관 관계
저자
정진욱
발행일
2025-08-21
학회명
제69회 한국진공학회
개최지
Phoenix Island, Jeju, Korea

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