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Hybrid Multilayer EUV Photoresist with Vertical Molecular Wire Structure
- 제목
- Hybrid Multilayer EUV Photoresist with Vertical Molecular Wire Structure
- 저자
- 성명모
- 발행일
- 2024-08-07
- 학회명
- 24th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2024)
- 개최지
- 헬싱키