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YF3, Y2O3 챔버 내벽 물질에 따른 플라즈마 시간 변화 연구 ​

제목
YF3, Y2O3 챔버 내벽 물질에 따른 플라즈마 시간 변화 연구 ​
저자
정진욱
발행일
2024-08-21
학회명
제67회 한국진공학회
개최지
Sinwha world jeju,korea

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