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O3 주입 시간과 냉각 속도가 HfxZr1-xO2 박막의 강유전성에 미치는 영향

제목
O3 주입 시간과 냉각 속도가 HfxZr1-xO2 박막의 강유전성에 미치는 영향
저자
최창환
발행일
2020-10-29
학회명
대한금속재료학회 추계학술대회
개최지
Virtual Conference

ScholarWorks@한양대학교

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