ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

0차원 모델을 이용한 공정장비 Scale up 연구

제목
0차원 모델을 이용한 공정장비 Scale up 연구
저자
정진욱
발행일
2012-02-10
학회명
한국진공학회 동계정기 학술대회
개최지
보광휘닉스파크

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.