ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

Al2O3 Thin Film Fabrication by UV light assisted Atomic Layer Deposition

제목
Al2O3 Thin Film Fabrication by UV light assisted Atomic Layer Deposition
저자
성명모
발행일
2018-04-20
학회명
대한화학회 제121회 총회 및 학술발표회 안내
개최지
ICC제주

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.