차세대 디바이스를 위한 자기조립 단층을 이용한 코발트 금속층의 선택적 영역 원자층 증착

제목
차세대 디바이스를 위한 자기조립 단층을 이용한 코발트 금속층의 선택적 영역 원자층 증착
저자
최창환
발행일
2023-04-27
학회명
대한금속재료학회 춘계학술대회
개최지
제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)