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Retarding field energy analyzer (RFEA) 를 이용한 유도 결합 플라즈마(ICP)에서 이온 에너지 분포 측정

제목
Retarding field energy analyzer (RFEA) 를 이용한 유도 결합 플라즈마(ICP)에서 이온 에너지 분포 측정
저자
정진욱
발행일
2023-02-10
학회명
제64회 한국진공학회
개최지
웰리힐리파크(강원도 횡성)

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