압력과 가스 혼합 비율이 분자 가스 극저온 전자 온도 플라즈마에 미치는 영향

제목
압력과 가스 혼합 비율이 분자 가스 극저온 전자 온도 플라즈마에 미치는 영향
저자
정진욱
발행일
2024-08-21
학회명
제67회 한국진공학회
개최지
Sinwha world jeju,korea