유도 결합 플라즈마에서 안테나의 가상 접지가 전자 밀도 분포에 미치는 영향

제목
유도 결합 플라즈마에서 안테나의 가상 접지가 전자 밀도 분포에 미치는 영향
저자
정진욱
발행일
2019-08-12
학회명
제57회 하계정기학술대회
개최지
대명 비발디파크