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평판형 헬리컬 공진기를 사용한 고밀도 플라즈마 소스 연구

제목
평판형 헬리컬 공진기를 사용한 고밀도 플라즈마 소스 연구
저자
정진욱
발행일
2023-02-10
학회명
제64회 한국진공학회
개최지
웰리힐리파크(강원도 횡성)

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