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유도 결합 플라즈마에서 아치형 그리드(Arched Grid)를 통한 electron beam 생성 및 집속 

제목
유도 결합 플라즈마에서 아치형 그리드(Arched Grid)를 통한 electron beam 생성 및 집속 
저자
정진욱
발행일
2023-08-21
학회명
제67회 한국진공학회

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