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Impacts of Hydrogen Profile on The Reliability Characteristics of Flash Memory Using SiO2/Si3N4/SiO2 Stack Film by Post Annealing
- 제목
- Impacts of Hydrogen Profile on The Reliability Characteristics of Flash Memory Using SiO2/Si3N4/SiO2 Stack Film by Post Annealing
- 저자
- 최창환
- 발행일
- 2024-01-26
- 학회명
- 31회 한국반도체학술대회 (KCS)
- 개최지
- 경주화백컨벤션센터