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페라이트 유도 결합 플라즈마 특성 연구
Characterization of a Ferromagnetic Inductively Coupled Plasma
- 이경효;
- 정진욱;
- 이영광;
- 이원기;
- 조성원;
- 외 1명
초록
페라이트를 이용한 새로운 형태의 유도 결합 플라즈마 (ICP) 장치를 구성하고 넓은 범위에서 특성을 평가하였다. 역률이 1에 가까워 안테나 전압과 전류가 일반적인 ICP에 비해 낮았고, 최고 99 \%에 이르는 높은 전력 전달 효율을 나타냈다. 200 mm 영역에서 측정된 플라즈마 밀도 분포는 최저 수 \% 정도의 불균일도를 나타냈다. 전자 온도는 1.8 4.5 eV, 플라즈마 전위는 6 17 V 의 값을 보였다.
키워드
플라즈마 소스; 전력 효율; 강자성체 유도 결합 플라즈마; Plasma sources; Power transfer efficiency; Ferrite ICP
- 제목
- 페라이트 유도 결합 플라즈마 특성 연구
- 제목 (타언어)
- Characterization of a Ferromagnetic Inductively Coupled Plasma
- 저자
- 이경효; 정진욱; 이영광; 이원기; 조성원; 최익진
- 발행일
- 2007-07
- 저널명
- 새물리
- 권
- 55
- 호
- 1
- 페이지
- 28 ~ 35