Improved Characteristics and Vth Modulation of FD-SOI Tunnel Field Effect Transistor (TFET) using ALD HfAlOx and TiN Gate Stack

제목
Improved Characteristics and Vth Modulation of FD-SOI Tunnel Field Effect Transistor (TFET) using ALD HfAlOx and TiN Gate Stack
저자
최창환
발행일
2017-02-15
학회명
한국반도체학술대회
개최지
대명 비발디파크, 대한민국