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전자 온도 제어를 통한 자외선 저감이 비정질 탄소 박막의 sp³/sp² 비율에 미치는 영향

제목
전자 온도 제어를 통한 자외선 저감이 비정질 탄소 박막의 sp³/sp² 비율에 미치는 영향
저자
정진욱
발행일
2026-02-09
학회명
제 70회 한국 진공학회
개최지
Sono Calm Vivaldi Park, Hongcheon, Gangwon-do, Republic of Korea

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