회귀 합성곱 신경망 기반의 테라헤르츠 신호 학습을 통한 반도체 플라즈마 공정 조건 모니터링 기술 개발

제목
회귀 합성곱 신경망 기반의 테라헤르츠 신호 학습을 통한 반도체 플라즈마 공정 조건 모니터링 기술 개발
저자
김학성
발행일
2023-05-25
학회명
2023년 한국비파괴검사학회 춘계학술대회
개최지
부산항국제전시컨벤션센터(BPEX)