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전력 공급 방식에 따른 유도 결합 플라즈마 특성 변화 연구

제목
전력 공급 방식에 따른 유도 결합 플라즈마 특성 변화 연구
저자
정진욱
발행일
2012-02-10
학회명
한국진공학회 동계 정기 학술대회
개최지
보광휘닉스파크

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