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Nanoscale Fluoropolymer Pattern Fabrication by Capillary Force Lithography for Selective Deposition of Copper
- 제목
- Nanoscale Fluoropolymer Pattern Fabrication by Capillary Force Lithography for Selective Deposition of Copper
- 저자
- 성명모
- 발행일
- 2012-08-21
- 학회명
- 제43회 한국진공학회
- 개최지
- 라마다 프라자 제주호텔