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Molecular Layer Deposition of Titanium Nitride Cross-linked Benzene Using Titaniumchloride and 1,4-Phenylenediamine
- 제목
- Molecular Layer Deposition of Titanium Nitride Cross-linked Benzene Using Titaniumchloride and 1,4-Phenylenediamine
- 저자
- 성명모
- 발행일
- 2012-02-10
- 학회명
- 제42회 한국진공학회
- 개최지
- 보광휘닉스파크