고주파수 축전 결합 플라즈마에서 플라즈마 변수들이 전기장 분포에 미치는 영향에 대한 연구

제목
고주파수 축전 결합 플라즈마에서 플라즈마 변수들이 전기장 분포에 미치는 영향에 대한 연구
저자
정진욱
발행일
2012-02-10
학회명
한국진공학회 동계 정기 학술대회
개최지
보광휘닉스파크