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유도결합 플라즈마에서 그리드 시스템을 통한 이온 빔 특성 연구

제목
유도결합 플라즈마에서 그리드 시스템을 통한 이온 빔 특성 연구
저자
정진욱
발행일
2024-02-15
학회명
제66회 한국진공학회
개최지
휘닉스파크 강원도 평창휘닉스파크 강원도 평창

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