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원자층 박막으로 형성된 금속 질화물의 Al 도핑에 따른 일함수 특성변화

제목
원자층 박막으로 형성된 금속 질화물의 Al 도핑에 따른 일함수 특성변화
저자
최창환
발행일
2023-04-28
학회명
대한금속재료학회 춘계학술대회
개최지
제주국제컨벤션센터(ICC JEJU)

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