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RF-biased ICP 에서 이온 밀도와 전자 온도 측정 가능한 무선 측정 장치 개발

제목
RF-biased ICP 에서 이온 밀도와 전자 온도 측정 가능한 무선 측정 장치 개발
저자
정진욱
발행일
2022-02-17
학회명
한국진공학회 제62회 동계정기학술대회
개최지
강원도 횡성 웰리힐리파크

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