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하모닉 테크닉을 이용하는 플로팅형 랭뮤어 탐침 측정에 대한 연구

제목
하모닉 테크닉을 이용하는 플로팅형 랭뮤어 탐침 측정에 대한 연구
저자
정진욱
발행일
2005-08-18
학회명
한국진공학회 학술발표 대회
개최지
대전, 한국과학기술원

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