평판형 헬리컬 안테나에서 접지단 위치에 따른 이온 밀도 공간 균일도 제어 연구

제목
평판형 헬리컬 안테나에서 접지단 위치에 따른 이온 밀도 공간 균일도 제어 연구
저자
정진욱
발행일
2023-08-22
학회명
제65회 한국진공학회
개최지
신화월드(제주)