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전자 온도 제어 가능한 플라즈마 소스에서의 자외선 방출 특성 연구
정진욱
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제목
전자 온도 제어 가능한 플라즈마 소스에서의 자외선 방출 특성 연구
저자
정진욱
발행일
2025-08-22
학회명
제69회 한국진공학회
개최지
Phoenix Island, Jeju, Korea
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