전자 온도 제어 가능한 플라즈마 소스에서의 자외선 방출 특성 연구

제목
전자 온도 제어 가능한 플라즈마 소스에서의 자외선 방출 특성 연구
저자
정진욱
발행일
2025-08-22
학회명
제69회 한국진공학회
개최지
Phoenix Island, Jeju, Korea