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High conductive ZnO thin film deposition for Atomic Layer Deposition in in situ UV illumination
- 제목
- High conductive ZnO thin film deposition for Atomic Layer Deposition in in situ UV illumination
- 저자
- 성명모
- 발행일
- 2017-10-19
- 학회명
- 대한화학회 제120회 총회 및 학술발표회 안내
- 개최지
- 광주 김대중컨벤션센터