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Enhanced Thermal Stability by Doping Cobalt and Rhenium Elements into TiN Metal Gate in MOS Device
- 제목
- Enhanced Thermal Stability by Doping Cobalt and Rhenium Elements into TiN Metal Gate in MOS Device
- 저자
- 최창환
- 발행일
- 2013-04-25
- 학회명
- 대한금속재료학회 춘계학술대회
- 개최지
- 제주 컨벤션센터