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SMP(Symmetric Multi-Power) 안테나에 의한 플라즈마 밀도 분포 개선에 대한 연구

제목
SMP(Symmetric Multi-Power) 안테나에 의한 플라즈마 밀도 분포 개선에 대한 연구
저자
정진욱
발행일
2013-02-18
학회명
제 44회 한국진공학회(The 44th Winter Annual Conference of the Korean Vacuum Society)
개최지
휘닉스파크

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