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3D Gate-All-Around FeFET using Zr-doped HfO2 and Indium Gallium Oxide
- 제목
- 3D Gate-All-Around FeFET using Zr-doped HfO2 and Indium Gallium Oxide
- 저자
- 최창환
- 발행일
- 2023-07-26
- 학회명
- International Conference on Atomic Layer Deposition
- 개최지
- Bellevue, Washington, USA