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60 MHz CCP에서의 전류 고조파성분과 전자 밀도 분포의관계에 대한 실험적 연구

제목
60 MHz CCP에서의 전류 고조파성분과 전자 밀도 분포의관계에 대한 실험적 연구
저자
정진욱
발행일
2021-02-04
학회명
제 60회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
온라인

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