Fabrication of Organic-Inorganic Nano Hybrid Superlattice Thin Films by Molecular Layer Deposition

제목
Fabrication of Organic-Inorganic Nano Hybrid Superlattice Thin Films by Molecular Layer Deposition
저자
성명모
발행일
2011-02-10
학회명
제40회 정기동계학술대회(한국진공학회)
개최지
보광휘닉스파크