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라디컬 소스용 ferrite ICP의 전기적 특성 연구

제목
라디컬 소스용 ferrite ICP의 전기적 특성 연구
저자
정진욱
발행일
2004-10-21
학회명
한국물리학회 추계 학술대회
개최지
제주 제주대

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