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Improving inductively coupled plasma(ICP) source for ion implantation using termination capacitor
- 제목
- Improving inductively coupled plasma(ICP) source for ion implantation using termination capacitor
- 저자
- 정진욱
- 발행일
- 2019-02-20
- 학회명
- 제56회 동계정기학술대회
- 개최지
- 대명 비발디파크