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유도 결합 Ar/SF6 혼합 기체방전에서의 전자 에너지 분포 측정을 통한 플라즈마 변수 연구

제목
유도 결합 Ar/SF6 혼합 기체방전에서의 전자 에너지 분포 측정을 통한 플라즈마 변수 연구
저자
정진욱
발행일
2010-02-17
학회명
동계정기 학술대회
개최지
한국, 강원도 횡성

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