축전 결합 플라즈마에서 인덕터 종단에 의한 플라즈마 z축 밀도 분포 영향

제목
축전 결합 플라즈마에서 인덕터 종단에 의한 플라즈마 z축 밀도 분포 영향
저자
정진욱
발행일
2019-08-12
학회명
제57회 하계정기학술대회
개최지
대명 비발디파크